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分子泵有三种类型：牵引型分子泵、涡轮分子泵和复合型分子泵。按制造结构，可分为油润滑、脂润滑、磁悬浮(单磁永磁悬浮、全磁悬浮)。

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正确地组合真空泵，由于真空泵有选择性地抽气，因而有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。若真空系统严格要求无油时，则应该选各种无油泵作主泵。如果要求不严格，则可选择有油泵，然后加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

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岛津EI-D2003M磁悬浮分子泵驱动器可以控制的分子泵Shimadzu TMP-2003M/MC、TMP-2003LM/LMC等

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分子泵如在阴冷潮湿的环境或抽除弱酸气体的环境使用，停机前抽入一定量的干燥空气；如遇突然停水，停水以后应即刻停泵，否则泵会因过热而卡死或烧毁电机等；泵工作时不要频繁起停，这样会影响泵的寿命。